Фокусни прстен од силицијум карбида

Керамички прстенови за таложење глинице служе као критичне потрошне компоненте у реакционим коморама опреме за хемијско таложење паре (ЦВД) и физичко таложење паром (ПВД)-језгра уређаја у производњи полупроводничких чипова. Њихов избор материјала и захтеви за примену су изузетно строги. Обично се постављају око носача плочица (електростатичке стезне главе), они чине део процеса реакције. У захтевном окружењу производње полупроводника, примарна улога прстена за таложење је да заштити скупе компоненте језгра (као што су електростатичке стезне главе) од контаминације и таложења нуспроизвода процеса, да обезбеди униформност процеса и да одржава чистоћу и стабилност коморе. Његове перформансе директно утичу на рад опреме, трошкове одржавања и коначни принос чипа. Такве компоненте спадају у категорију прецизне обраде глинице керамике, захтевајући строге захтеве за високу чистоћу и супериорне перформансе материјала од алуминијумске керамике.

• Изузетна отпорност на корозију: Способан да издржи ерозију од разних корозивних, високо реактивних гасова плазме који се користе у ЦВД/ПВД процесима, обезбеђујући продужени радни век.
• Врхунска отпорност{0}} на високе температуре: Одржава структурну стабилност и перформансе на температурама процеса које достижу стотине или чак хиљаде степени Целзијуса без деформације или топљења, показујући своје карактеристике као високотемпературна-алуминијумска керамика.
• Висока чистоћа и ниска контаминација: Керамика од глинице високе{0}}чистоће (нпр. 99,9% или више) минимизира ослобађање загађивача као што су метални јони из самог материјала у процесну комору под условима високе-температуре и плазме, спречавајући контаминацију плочице.
• Одлична механичка чврстоћа и тврдоћа: Поседује довољну крутост да одржи стабилност димензија док издржи механичка напрезања и силе инсталације. Робусне механичке особине чине основу за све облике-било да су то керамичке плоче од алуминијума, керамичке шипке од алуминијума (шипке од алуминијума) или цеви од алуминијума.
• Врхунска изолација: Као изолациони материјал, алуминијумска керамика не омета функцију адхезије електростатичке стезне главе за плочице, обезбеђујући сигурност и стабилност процеса.
• Умерена топлотна проводљивост: Помаже у хомогенизацији температурног поља унутар коморе док спречава прегревање.
• Висока прецизност и обрадивост: Кроз напредне технике обликовања керамике и прецизну машинску обраду, могу се постићи сложени облици са изузетном прецизношћу димензија и завршном обрадом површине.

• Сирови материјали: Потребан је фини прах глинице, посебно за керамику високе{0}}чистоће алуминијума. Алуминијум оксид (Ал2О3) је основна хемикалија.
• Формирање и синтеровање: Укључује произвођаче керамике од глинице који користе технике за производњу бланкова од глинице.
• Прецизна обрада: Изводе га стручњаци за машинску обраду глинице или добављачи делова, претварајући бланке у финалне компоненте као што су керамичке плоче од алуминијума, керамичке шипке од алуминијума или сложени структурни делови од алуминијумске керамике.
• Други облици и примене: Осим прстенова за таложење, керамика од алуминијума има различите употребе полупроводника, као што су керамички супстрати од алуминијума (ал2о3 супстрат) за паковање, керамичке мембране од алуминијума и цеви од алуминијумских влакана за изолацију.

Стриктно следимо ИСО 9001 систем управљања квалитетом како бисмо осигурали доследност:

• 100% инспекција сировина
• Напредне производне линије за вруће{0}}прешање
• Интерна{0}}испитивања: густина, тврдоћа, анализа микроструктуре
• Сертификати{0}}треће стране (СГС, ЦЕ, РОХС доступни на захтев)

Popularne oznake: Фокусни прстен од силицијум карбида, произвођачи фокусних прстена од силицијум карбида, добављачи, фабрика