Опис производа
Керамички прстенови за таложење глинице служе као критичне потрошне компоненте у реакционим коморама опреме за хемијско таложење паре (ЦВД) и физичко таложење паром (ПВД)-језгра уређаја у производњи полупроводничких чипова. Њихов избор материјала и захтеви за примену су изузетно строги. Обично се постављају око носача плочица (електростатичке стезне главе), они чине део процеса реакције. У захтевном окружењу производње полупроводника, примарна улога прстена за таложење је да заштити скупе компоненте језгра (као што су електростатичке стезне главе) од контаминације и таложења нуспроизвода процеса, да обезбеди униформност процеса и да одржава чистоћу и стабилност коморе.
Перформансе производа
- Изузетна отпорност на корозију: Способан да издржи ерозију од различитих корозивних, високо реактивних гасова плазме (нпр. гасова на бази флуора-базираних на хлору-) који се користе у ЦВД/ПВД процесима, обезбеђујући продужени радни век.
- Врхунска отпорност{0}} на високе температуре: Одржава структурну стабилност и перформансе на температурама процеса које достижу стотине или чак хиљаде степени Целзијуса без деформације или топљења, показујући своје карактеристике као високотемпературна-алуминијумска керамика.
- Висока чистоћа и ниска контаминација: Керамика од глинице високе{0}}чистоће (нпр. 99,9% или више) минимизира ослобађање загађивача као што су метални јони из самог материјала у процесну комору под условима високе-температуре и плазме, спречавајући контаминацију плочице. Примене на нивоу полупроводника- теже врхунској чистоћи 99,99% керамике од алуминијума.
- Одлична механичка чврстоћа и тврдоћа: Поседује довољну крутост да одржи стабилност димензија док издржи механичка напрезања и силе инсталације. Робусне механичке особине чине основу за све облике-било да су то керамичке плоче од алуминијума, керамичке шипке од алуминијума (шипке од алуминијума) или цеви од алуминијума.
- Врхунска изолација: Као изолациони материјал, алуминијумска керамика не омета функцију адхезије електростатичке стезне главе за плочице, обезбеђујући сигурност и стабилност процеса.
- Умерена топлотна проводљивост: Помаже у хомогенизацији температурног поља унутар коморе док спречава прегревање. Ово је цењено својство за компоненте за расипање топлоте као што су керамичке подлоге од алуминијума или керамичке плоче за хлађење.
- Висока прецизност и обрадивост: Кроз напредне технике обликовања керамике и прецизну машинску обраду, могу се постићи сложени облици са изузетном прецизношћу димензија и завршном обрадом површине.
Примена производа
- Сирови материјали: Потребан је фини прах глинице, посебно за керамику високе{0}}чистоће алуминијума. Алуминијум оксид (Ал2О3) је основна хемикалија.
- Формирање и синтеровање: Укључује произвођаче керамике од глинице који користе технике за производњу керамичких бланкова од алуминијума, као што су блокови од алуминијума, плоче од алуминијума (лимови од алуминијума), цеви од алуминијума (ал2о3 цеви) и дискови од алуминијума.
- Прецизна обрада: Изводе га стручњаци за машинску обраду глинице или добављачи делова, претварајући бланке у финалне компоненте као што су керамичке плоче од алуминијума, керамичке шипке од алуминијума или сложени структурни делови од алуминијумске керамике.
- Други облици и примене: Осим прстенова за таложење, керамика од алуминијума има различите употребе полупроводника, као што су керамички супстрати од алуминијума (ал2о3 супстрат) за паковање, керамичке мембране од алуминијума и цеви од алуминијумских влакана за изолацију.
Сертификати и почасти
Наши стручњаци поседују 20 година искуства у истраживању и развоју у независном развоју и производњи напредних керамичких материјала и прецизне керамике, постижући светске{1}}стандарде. Препознати смо као Национално-предузеће за високу технологију и водећи смо пројекат талената у граду Схаокинг, познатом као „Родни град научника“.
Стриктно следимо ИСО 9001 систем управљања квалитетом како бисмо осигурали доследност:
- 100% инспекција сировина
- Напредне производне линије за вруће{0}}прешање
- Интерна{0}}испитивања: густина, тврдоћа, анализа микроструктуре
- Сертификати{0}}треће стране (СГС, ЦЕ, РОХС доступни на захтев)
фабричка снага
Поседујемо напредну техничку експертизу у области синтеровања, обликовања, брушења, ЦНЦ обраде, ласерског бушења, брушења и полирања, што нам омогућава да прилагодимо различите керамичке производе према спецификацијама купаца. Наше дигиталне радионице и паметне фабрике, опремљене системима за прикупљање података у-у реалном времену, користе принципе витке производње како би се смањила ефикасност ресурса и максимално смањила ефикасност. Интеграцијом ЦНЦ технологије обраде, индустријског ИоТ-а и аутоматизованих контролних система, постижемо беспрекорну повезаност и колаборативни рад између производне опреме, чиме се максимизирају уштеде у производњи.
Popularne oznake: керамички прстенови за таложење, произвођачи керамичких прстенова за таложење, добављачи, фабрика
