Алуминијум нитрид (алн) керамички керамички пакови у процесима високих температура
Алн керамички Цхуцкс Екцел у полу-температурним полуводичким и индустријским апликацијама због њихове изузетне топлотне и механичке својства:
Екстремни отпорност на температуру - дјелује стабилно од криогених до 1000 степени (у инертним атмосферима), надмашују Алумину (ограничену на 800 степени) и полимере.
Thermal Shock Resilience–Withstands rapid thermal cycling (ΔT >500 степени \/ сек) без пуцања, критично за брзу термичку обраду (РТП) у производњи чипова.
Ниска термичка експанзија-ЦТЕ од 4,5 ппм \/ к уско одговара силиконским ваферима (2,6 ппм \/ к), минимизирајући вафер ратовање током грејања.
Висока топлотна проводљивост - 170-200 В \/ МК Дисипација топлоте одржава уједначену температуру вафла (± 1 степен преко 450 мм вафла у 600 степени).
Oxidation Resistance–Forms a protective Al₂O₃ surface layer at >800 степени ваздуха, очување структурног интегритета.
Плазма и хемијска стабилност - одолева халогене плазме (ЦЛ₂ \/ Ф₂) и метални органски прекурсори у моквд коморама у 900 степени.
Кључне апликације:
Еув фазе литографије (мање од или једнака 5нм чворовима)
ГАН ЕПИТАКСИ реактори (800-1100 степен)
Повер уређаја за жарење (700 степени, 5мин циклуси)
Са нултом пресвлаком и<0.1μm thermal deformation, AlN chucks enable high-precision processing in advanced semiconductor fabs and LED production. Their 10x longer lifespan than traditional materials reduces downtime in 24/7 wafer fabs.
За вишеАлуминијум нитридни керамички ЦхуцкИнформације, посетите следеће ввв.церамицстимес.цом
