У процесима производње полуводича, прерада вафле захтева готово савршену чистоћу и стабилност. Традиционални метални или полимерни носачи склони су контаминацији честица, електростатичкој адсорпцији и термичкој деформацији, који директно утичу на принос чипова. Керамички дискови високих чистоћа оксида (аЛ₂О₃ већи или једнак 99,6%) нуде изузетну чистоћу, стабилност и отпорност на корозију, чинећи их неопходним кључним потрошним у напредним производним процесима.
Телефонски број
13918810800
Е-маил
lh@ceramicstimes.com
Зашто су Алумина керамички дискови идеалан избор за производњу вафла?
1. Врхунска сигурност чистоће
Чистоћа од преко 99,6%, Метално јонско испирање<0.1 ppb, preventing wafer contamination
Површина храпавости РА <0,1 μм, достизање РА 0,02 μм након полирања огледала (испуњавање ЕУВ процесних захтева)
2. Термална механичка стабилност нано нано на нивоу
Коефицијент топлотне експанзије од 7,2 × 10⁻⁶ / степен (слично силиконским ваферима), деформација на високим температурама<0.5 μm
Одлична топлотна отпорност на ударце; може да издржи брзи циклуси температуре са собне температуре на 500 степени
3. Анти-статичка и хемијска отпорност на корозију
Отпорност за јачину звука> 10¹⁴ Ω · цм, ефикасно спречавање електростатичке штете (ЕСД)
Отпоран је на киселину и алкалну корозију, са сервисним веком од преко 1000 циклуса у процесима за стругање и чишћење
Валидација индустрије: Стандард за напредне процесе
1. Подаци о тестирању ТСМЦ-а показују да у поређењу са металним ладицама, алуминијум оксид керамичке ладице смањују контаминацију честица на површини 12-инчних вафла за 83%.
2 Примењени материјали (АМАТ) је у потпуности усвојило ладице за керамике алуминијум оксида у својој најновијој ЦМП опреми, побољшању униформности полирања за 15%.
Самсунг Елецтроницс 3нм Процесна верификација: Алуминијум оксид керамичке лежишта могу смањити брзину оштећења ивице од 0,01%.
Технички трендови: Како процеси производње чипова крећу се према 2 нМ и ниже, захтеви за равност за носаче ушле су нанометре (<10nm). Through precision laser trimming technology, aluminum oxide ceramic discs are breaking through the limits and continuing to safeguard semiconductor manufacturing.